报告承办单位:物理与电子科学学院

报告内容:我国半导体制造关键设备-离子注入机的现状

报告人姓名:王迪平

报告人所在单位:北京烁科中科信电子装备有限公司（隶属中国电科四十八所）

报告人职称/职务及学术头衔:研究员级高级工程师

报告时间:2022年10月21日（周五）15:00

报告地点:云塘校区理科楼B413

报告人简介:王迪平，中国电子科技集团研究员级高级工程师，现任北京烁科中科信长沙分公司科研技术主管，控制总师。主要从事离子注入机的研制开发和量产研究，主导设计开发了离子注入机的关键部件：剂量控制器、剂量积分仪、全电扫描剂量控制器、大束流检测板、PCI总线下的光纤通讯环路板。在国内外学术期刊发表论文10余篇，授权发明和实用新型专利30余项。做为控制总师参与完成了“9711”工程、国家863、02专项等各类项目10余项，主持完成总装型谱、总装预研等多个重点项目。研制开发的多台设备或项目先后获得中国电子科技集团公司科学技术一等奖、国防科学技术二等奖、信息产业重大技术发明奖、中国电子科技集团公司科技进步特等奖、北京市科学技术奖一等奖、中国电子学会电子信息科学技术奖一等奖、北京市通州区科技进步一等奖。